MEMSパークコンソーシアム事務局

東北大学 西澤潤一記念研究センター内
〒980-0845
仙台市青葉区荒巻字青葉519-1176
TEL: 022-305-2351
FAX: 022-229-4116
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第33回マイクロシステム融合研究会

東北大学マイクロシステム融合研究開発センター・MEMSパークコンソーシアム主催の「第33回マイクロシステム融合研究会」をオンラインにて開催いたしました。MEMSの中心的な加工技術である「リソグラフィ、3Dパターニングと応用」についてご講演いただき、沢山の皆様にご参加いただきました。皆様、心より感謝申し上げます。
【第33回マイクロシステム融合研究会】
日時:
2023年3月24日(金) 13:00~17:30
開催方法:
オンライン (Zoom)
主催:
東北大学マイクロシステム融合研究開発センター、MEMSパークコンソーシアム
参加者数

120名

【プログラム】 2023年3月24日(金)
13:00~13:40   関口 淳(リソテックジャパン)「ステッパ開発の歴史とレジスト材料」
13:40~14:20   渡邉 陽司(ニコン) 「DUV光マスクレス露光機の開発」
 14:20~15:00   花城 秀明(ミカサ)・楠田 達文(写真化学) 「膜厚リアルタイム測定機能付スピンコータ」
休憩
15:10~15:50   平井 義和(京都大学) 「3次元リソグラフィ技術による生体模倣システムの構築」
15:50~16:30   竹田 宣生(ボールウェーブ)「球面マスクレス露光装置によるボールSAWセンサの製造と超小型ボールSAWガスクロマトグラフ」
16:30~17:10 佐々木 実(豊田工業大学)「立体サンプルの三次元フォトリソグラフィ加工」
17:10~17:30 戸津 健太郎(東北大学)「試作コインランドリにおけるデータ収集、登録について(文科省ARIMプロジェクト関係)」

 ※講演資料は、下記よりダウンロード(公開可能な資料のみ)できます。

【問い合わせ先】

MEMSパークコンソーシアム事務局
〒980-0845 仙台市青葉区荒巻字青葉519-1176
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E-mail: memspc@mu-sic.tohoku.ac.jp