公開セミナー
第26回 マイクロシステム融合研究会
- 日時：
- 6月28日（金）14:00～18:00, 18:00～18:30 交流会
- 場所：
-
東北大学「西澤記念研究センター」内
「仙台MEMSショールーム」 - 主催：
- 東北大学 マイクロシステム融合研究開発センター（μSIC）
MEMSパークコンソーシアム（MEMSPC） - 問合先：
- 東北大学 マイクロシステム融合研究開発センター
庄子留美子
Tel. 022-305-2351 Fax. 022-305-2352
e-mail. rumiko.shoji.a8@tohoku.ac.jp - 参加：
- 無料、当日直接参加可、
交流会（1,000円 同フロアの自作LSI装置室) - アクセス：
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西澤センターアクセス(PDF)
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推奨アクセス法1：地下鉄東西線 仙台駅(13:06) → 地下鉄青葉山駅（13:15）、学内無料バス(直前に片平行あり行先注意) 青葉山駅(13:28) → 西澤センター(13:39)
推奨アクセス法2： 地下鉄東西線 仙台駅(12:36) → 地下鉄青葉山駅（12:45）、市営バス 青葉山駅(12:58) → 青葉台駅(13:03) 徒歩5分 西澤センター
なお地下鉄東西線は7分毎で仙台駅から10分かかります。必要なら車で迎えに参りますので 022-229-4113までご連絡ください。
帰り1 (交流会に参加の方)、学内バス 西澤センター(18:40) → 地下鉄青葉山駅（18:51）(乗りきれない場合は車でお送りします)、地下鉄青葉山駅（18:59） → 仙台駅(19:08) (東北新幹線仙台駅(19:30発)(19:53発))
帰り2 (交流会に参加されない方)、市営バス 徒歩5分 青葉台駅(18:17) → 地下鉄青葉山駅（18:22）、地下鉄青葉山駅（18:35） → 仙台駅(18:44) (東北新幹線仙台駅(18:57発)(19:30発))
- お願い：
- 研究会の会場には食事施設、売店等はありません。集合前に食事をお済ませください。
※午前中に「試作コインランドリ」や「近代技術史博物館」などをご覧いただけます。
その時は地下鉄青葉山駅ロータリ (9:20）→ 西澤センター（9:31）の学内バスがご利用いただけます。
- プログラム
- 13:40 - 14:00 MEMSパークコンソーシアム総会
- 14:00 - 18:00 マイクロシステム融合研究会
- -デバイス・プロセスに有用な材料・評価技術-
- 14:00 - 14:50 田中 俊一郎（東北大）「異種材料接合と応力･歪計測の最新事情（実演付）」
- 14:50 - 15:20 新谷 寿朗（日東電工）「半導体、MEMS製造プロセスでのNitto製品のご紹介」
- 15:20 - 15:40 休憩
- 15:40 - 16:20
鈴木 茂（東北大)「磁歪式振動発電用の材料とその応用」 - 16:20 - 16:50
木島 健（KRYSTAL)「KRYSTAL社単結晶PZT薄膜成膜技術」
- 16:50 - 17:20
皿山 正二（サイオクス） 「研究開発から事業へのアプローチの一形態～GaN基板開発での事例～」 - 17:20 - 17:50
森山 雅昭 (東北大) 「RF-MEMSのための気密封止技術」 - 18:00 - 18:30
交流会 場所 : 同フロアの自作LSI装置室