MEMSパークコンソーシアム事務局

東北大学　西澤潤一記念研究センター内
〒980-0845
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公開セミナー

MEMS集中講義 in 川崎

日時：
MEMS集中講義
平成29年7月31日（月）、8月1日（火）、2日（水）
9:00（初日のみ10：00開始）～17：00
交流会
平成29年8月1日（火）　17:00～18:00
見学会
平成29年8月2日（水）　18:00～19:00
場所：
MEMS集中講義
川崎市産業振興会館　1階ホール
交流会
川崎市産業振興会館　4階　企画展示場
主催：
東北大学 マイクロシステム融合研究開発センター（μSIC）、MEMSパークコンソーシアム（MEMSPC）

こちらから資料をダウンロードできます。

江刺 正喜（東北大）
「マイクロマシニング 1（概論、フォトファブリケーション、エッチング）」
資料ダウンロード（PDF：20.2MB）
江刺 正喜（東北大）
「マイクロマシニング 2（堆積、接合、複合プロセス、パッケージング）」
資料ダウンロード（PDF：34.1MB）
江刺 正喜（東北大）
「MEMSの要素（センサ、アクチュエータ）」
資料ダウンロード（PDF：10.7MB）
小野 崇人 (東北大)
「環境・分析関連およびナノ構造とセンシング」
資料ダウンロード（PDF：14.4MB）
羽根 一博 (東北大)
「光MEMS」
資料ダウンロード（PDF：4.8MB）
芳賀 洋一 (東北大)
「医療・ヘルスケア（健康管理）応用」
資料ダウンロード（PDF：19.3MB）
井上 久美 (東北大)
「バイオ・ヘルスケア」
資料ダウンロード（PDF：7.2MB）
田中 秀治 (東北大)
「MEMSの新しい話題」
資料ダウンロード（PDF：9.6MB）
戸津 健太郎 (東北大)
「MEMS試作と人材育成」
資料ダウンロード（PDF：10.8MB）
田中 秀治 (東北大)
「自動車・家電（圧力，加速度，ジャイロ，磁気，マイクロフォン，マイクロミラー)」
資料ダウンロード（PDF：29.4MB）
田中 秀治 (東北大)
「情報通信（弾性波フィルタ，フィルタ共振子，RF MEMSスイッチ）」
資料ダウンロード（PDF：16.3MB）
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