公開セミナー
第14回 マイクロシステム融合研究会 (試作コインランドリ利用の成果他)
- 日時：
- 2015年2月10日（火）13:00〜17:30, 18:00〜20:00 交流会
- 場所：
- 東北大学「西澤記念研究センター」内
「仙台MEMSショールーム」 - 主催：
- 東北大学 マイクロシステム融合研究開発センター（μSIC）
先端融合領域イノベーション創出拠点形成プログラム「マイクロシステム融合研究開発拠点」 - 共催：
- 産総研 集積マイクロシステム研究センター（UMEMSUME）
MEMSパークコンソーシアム（MEMSPC）
次世代自動車宮城県エリア - 問合先：
- 東北大学 マイクロシステム融合研究開発センター 蛸島武尚
Tel. 022-795-6256 Fax. 022-795-6259
e-mail. tako@mems.mech.tohoku.ac.jp - 参加：
- 無料、当日直接参加可、交流会(3,000円)
- アクセス：
- 仙台駅⇔西澤潤一記念研究センター間（復路は「レストラン萩」経由）は貸切バス（1台）を運行致します。
集合時間：12:00
集合場所：仙台駅 東口 バスロータリー（詳細は下記を参照下さい）
http://www.memspc.jp/openseminar/opense59.html - お願い：
- 研究会の会場には食事施設、売店等はありません。集合前に食事を済ませて頂けるようお願い致します。
※午前中に試作コインランドリや「近代技術史博物館」などをご覧いただけます。
西澤センターアクセス
http://www.mu-sic.tohoku.ac.jp/coin/attach/JNRC_access.pdf
- プログラム
- 13:00 - 13:20
下石坂 望(コネクティックジャパン)「多様化するMEMS実装要求に対応。世界初「低温低荷重」ダメージフリー・フリップチップテクノロジー」 - 13:20 - 13:40
山田 達也(ナガセケムテックス)「ナガセケムテックスのMEMSセンサー向けリソグラフィ材料開発最新状況」 - 13:40 - 14:00
太田 亮(MNOIC)「TKB812プロトタイプサービスと開発事例」 - 14:00 - 14:20
馬場 大輔(シリコンセンシングシステムズジャパン)「シリコンセンシングのPZTジャイロ及びMEMSファンドリのご紹介」 - 14:20 - 14:40
岩渕 修(倉元製作所)「MEMS技術によるマイクロヒータ」 - 14:40 - 15:10
堀池 靖浩(つくば大)「長い研究人生で、あがけども成功は少しそして現在」 (特別講演) - 15:10 - 15:30
休 憩 - 15:30 - 15:50
井上 壮一(EIDEC（株）EUVL基盤開発センター)「LPP光源を用いた高出力EUV照射装置の現状」 - 15:50 - 16:10
梅津 真門(ムネカタ)「マイクロ流路チップ金型の開発」 - 16:10 - 16:30
小林 広樹(長野計器)「光波長測定装置用小型波長掃引光源モジュールの開発」 - 16:30 - 16:50
矢代 航(わたる)(東北大多元研)「回折格子を用いたＸ線・中性子位相イメージング」 - 16:50 - 17:10
井上 喜彦(フォトニックラティス)「微細構造を活かした光学素子とその応用、ビジネス化について」 - 18:00 - 20:00
交流会 レストラン萩（片平）
