MEMSパークコンソーシアム事務局

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公開セミナー

First International Symposium on Integrated Microsystems (ISIM2011)

日時:
平成23年2月9日(水)〜10日(木)
場所:
2月9日(水)
産総研つくばセンター つくば中央共用講堂 2階大会議室

2月10日(木)
つくば国際会議場(エポカル) (http://www.epochal.or.jp/floor_guide/index.html) (http://www.epochal.or.jp/access/map_shuhen.html)
主催:
東北大学マイクロシステム融合研究開発センター(μSIC)、産総研集積マイクロシステム研究センター(UMEMUSUME)
参加費:
無料 (「ポスターセッションおよび意見交換会」は\3,000程度の会費)
問合先:
東北大学 マイクロシステム融合研究開発センター 蛸島武尚
Tel.022-795-6936, Fax 022-795-6935
E-mail tako@mems.mech.tohoku.ac.jp
プログラム:
http://unit.aist.go.jp/umemsme/files/ISIM2011.htm
2月9日(水) 【ISIM2011見学会・Gデバイス国際シンポジウム(併催)】
10:30

Gデバイス国際シンポジウム(Part-T)

12:00

昼食
ISIM2011見学会(定員制)(TIA N-MEMS関連施設:TKB812 グリーンMEMS集積化試作ライン)およびポスターセッション(Gデバイス、N-MEMS学生連携)

14:30

Gデバイス国際シンポジウム(Part-U)

16:00

ポスターセッション(Gデバイス、N-MEMS学生連携)、およびGデバイス国際シンポジウムレセプション

19:30

閉会

2月10日(木)

午前 9:30-11:40 【プロジェクト進捗報告(東北大・産総研) 】

9:30

Introduction of the “Integrated Microsystems” project 東北大 江刺 正喜

9:40

Initial stage prototyping for the hetero integration 東北大 田中 秀治

10:00

Hands-on access to fabrication facility 東北大 戸津 健太郎

10:20

Massive parallel EB exposure systems 東北大 江刺 正喜

10:40

Introduction of the “AIST Integrated Micro System Research Center” 産総研 前田 龍太郎

11:00

Production stage prototyping for the hetero integration 産総研 小林 健

11:20

High efficiency production of integrated MEMS 産総研 高木 秀樹

11:40

Lunch and poster session (各サブテーマの詳細展示)

午後 13:00 - 16:55

【招待講演(国内・海外):「国際分業とMEMSファウンダリ R&D試作から量産まで」】

12:40

米国 SVTC

13:00

Imec CMORE SiGe MEMS technology platform, ベルギー IMEC Dr. S Donnay

13:20

LETI Dr. L Malier

13:40

Smart Systems Integration by using advanced MEMS technologies, ドイツ Fraunhofer ENAS Prof. T. Gessner

14:00

MEMS for biological applications and energy, イタリア Trino工科大学 Prof. F. Pirri

14:20

Wafer-Level Heterogeneous Integration Techniques for MEMS and IC, スゥエーデン, Royal Institute of Technology, Prof. Goran Stemme

14:40

住友精密工業, 神永晋

15:00

休憩

15:15

MEMS production strategy of devise company and Open innovation (tentative), オムロン Dr. Y. Sekiguchi

15:35

New age of MEMS large wafer scale production (tentative), 大日本印刷 Dr. K. Suzuki

15:55

MEMS process integration and volume production, 台湾 APM Dr. J. Hsieh

16:15

中国 SIMIT Prof.H.Yang

16:35

Asian collaboration on MEMS large scale production, 韓国 RFID/USN Center Dr. Choi

16:55

閉会

17:30-19:30

ポスターセッション&意見交換会