イベント情報
MEMS・微細加工技術による圧力センサ試作実習講座受講者募集
仙台市では、東北大学西澤潤一記念研究センター内の「試作コインランドリ」において、圧力センサの試作実習講座を開催いたします。本講座では、受講者自身がクリーンルーム内の作業を通して、MEMSセンサの試作・評価までの一連の流れを体験することで、MEMSセンサ開発に必要なプロセスを体系的に習得できます。MEMS技術を活用した新製品開発を考えている方や、MEMSセンサ製造プロセスの理解を深めたい方のご参加をお待ちしています。
開催概要
- 主催
- 仙台市
- 日時
- 平成29年2月8日(水)、15日(水)、22日(水） 9:00～18:00 （全3回）
- 会場
- 東北大学西澤潤一記念研究センター
〒980-0845 仙台市青葉区荒巻字青葉519-1176
URL： http://www.mu-sic.tohoku.ac.jp/coin/ - 対象：
- 仙台市内の企業技術者の方で、MEMS技術を活用した新製品開発を考えている方や、微細加工技術・MEMSセンサ製造プロセスの理解を深めたい方
（原則として、全日程を受講可能な方に限ります） - 費用
- 無料
- 定員
- 5名
- 実習内容
- ①フォトリソグラフィ、②イオン注入、③アルミニウムスパッタリング、 ④アルミニウムエッチング、⑤シリコンDeepRIE、⑥陽極接合、 ⑦ダイシング、⑧ワイヤボンディング、⑨評価
- 留意事項
- 施設使用にあたっては、下記「東北大学試作コインランドリ使用
細則」を遵守いただきますようお願いいたします。
http://www.mu-sic.tohoku.ac.jp/coin/attach/Rules.pdf - 申込方法
- 必要事項（※下記参照）をご記入の上、平成29年1月31日（火）までに
下記申込先あてに E-mailにてお申込みください。
（※）…所属団体名、住所、氏名、電話番号、その他本講座に期待することや要望など - 申込先
- 仙台市経済局 産業政策部産業振興課
住所：仙台市青葉区国分町三丁目6-1 仙台パークビル9階
TEL：022-214-8278 FAX：022-214-8321
E-mail： kei008030@city.sendai.jp