イベント情報
第11回MEMS講習会
マイクロマシンセンターより、第1１回ＭＥＭＳ講習会について、ご案内いたします。
（財）マイクロマシンセンター・ファンドリーサービス産業委員会では、MEMS産業の裾野を広げ、その発展を促進するために現在まで10回のＭＥＭＳ講習会を開催してきましたが、今回第11回MEMS講習会“ MEMS活用「材料・検査技術・ファンドリー」”を開催いたします。
今回は特に、バルク材料以外のMEMS材料、MEMS検査技術、MEMSファンドリーの活用に関しての内容となっております。
また、休憩時間には、メンバー各社による技術相談会で、MEMS製作に関する御質問にお答えいたします。
これまでのMEMS講習会にはなかったような観点の講演もございますので、皆様の積極的なご参加をお願いいたします。
- 日時：
- 2008年8月28日（木）13:00〜18:00〜19:00
- 場所：
- アルカディア市ヶ谷（東京・私学会館）
〒102-0073 東京都千代田区九段北4丁目2番25号
TEL：03-3261-9921（代表）
地図URL http://www.arcadia-jp.org/ - 参加費：
- 一般 10,000円 / MEMS協議会メンバー 8,000円
- 問合せ先：
- 〒101-0026東京都千代田区神田佐久間河岸67 MBR99ビル 6階
財団法人マイクロマシンセンター
ファンドリーサービス産業委員会講習会担当（山岡、酒向）
TEL 03-5835-1870, FAX 03-5835-1873
お申込みについては、下記ホームページをご覧下さい。
http://fsic.mmc.or.jp/seminar/koshu-11/koshu-11.html
プログラム
- 13:00〜13:10 主催者挨拶
- （財団法人マイクロマシンセンター 専務理事： 青柳 桂一 ）
- 13:10〜13:55 MEMSの集積・融合の進展と新産業創出への期待
- （立命館大学 ナノマシンシステム技術研究センターセンター長 教授：杉山 進）
- 13:55〜14:40 異種材料の融合による新規MEMSの動向
- （東京大学 ナノ工学研究センター 准教授： 杉山 正和）
- 14:40〜15:20 立体回路で超小型デバイスを実現するMID技術
- （松下電工株式会社 コネクタ事業部MIPTEC商品部 技師：立田 淳）
- 15:20〜15:50 ――休憩及び技術相談会（各社パネル展示説明）――
- 15:50〜16:20 MEMSセンサー向けウエーハテスト及びベアチップテストの奨め
- （東京エレクトロン株式会社 MEMS事業開発部 グループリーダー：渡部 彰一）
- 16:20〜16:50 パッケージレベルMEMS検査装置
- （株式会社ラポールエスエー 執行役員： 井上 晴伸）
- 16:50〜17:30 MEMSユーザーから見たファンドリーの活用事例 （慣性センサの開発）
- （株式会社ワコー 代表取締役： 岡田 和廣）
- 17:30〜18:00 ファンドリーサービス産業委員会活動紹介
- （ファンドリーサービス産業委員会委員長：佐藤 文彦）
- 18:00〜19:00 懇談会