MEMSパークコンソーシアム

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共催：

日経エレクトロニクス、NIKKEI MICRODEVICES、MEMSパークコンソーシアム

開催日

第1回5/11（金）MEMSの製作 (マイクロマシニング)
第2回5/25（金）MEMSの応用1
第3回6/ 8（金）MEMSの応用2

受講料：

社会人受講料
　1回選択35,000円（税込み）　3回選択75,000円（税込み）
学生受講料 ※ 社会人学生は一般料金になります
　1回選択3,150円（税込み）　3回選択7,560円（税込み）

特典：

本講座にお申し込みいただくと日経エレクトロニクス誌（27冊）、またはNIKKEI MICRODEVICES(13冊)を1年間 プレゼントいたします。

講師からの言葉

半導体微細加工技術を発展させたマイクロマシニングで製作し、チップ上に回路だけでなく、構造体、センサ、アクチュエータなどを集積化したものはMEMS (Micro Electro Mechanical Systems)と呼ばれる。

MEMSはシステムの重要な部品として用いられ付加価値も高いが、品種ごとに製造方法が異なり、設備も必要なため、その開発や生産は容易ではない。

幅広い知識が必要であり、製作の基礎から応用展開まで新技術も含めて説明する。

主催者より

ここ数年MEMS開発が大変活発になっています。

自動車の電子化と先進の制御技術の開発で培われたMEMS技術が微細化の進むLSIの流れと相まっていよいよ携帯電話へ搭載されます。

また、医療、バイオなど最先端の研究、開発分野においても新たなテクノロジを創出するなどその可能性が益々大きくクローズアップされてまいりました。

MEMSはシステムの重要な部品として用いられ付加価値も高い反面、 品種ごとに製造方法が異なり設備も必要なため、その開発や生産はけして容易ではありません。

本講座では「MEMSはLSIに付加価値をもたらす技術である」という理念のもと今日までMEMSを育てて来られた江刺正喜氏に、長年培われた エッセンスを基にMEMS開発に不可欠な基礎技術解説とその応用として最新の技術開発手法を詳解いただきます。

MEMSが直面している課題への取り組みと提言を交え、今後のMEMSに携わる方々の礎としていただくことを目的に構成したカリキュラムです。

本講座の特徴

製品開発に必要な各工程理論並びに工程間の整合が可能なエッセンスを網羅

机上理論だけではなく江刺教授の経験値、実際値をベースにした解説

講 師

東北大学　大学院工学研究科付属
マイクロ・ナノマシニング研究教育センター
教授　江刺 正喜 氏

プログラム

【開催日：平成19年 5月11日（金）】

半導体微細加工を発展させ、多様な材料で立体的な構造のMEMSをつくる「マイクロマシニング」について説明する。基礎と同時に、特に新しい技術を紹介する。

• 1-1.パターニング、エッチング、堆積
• 1-2.接合・組立、特殊加工、複合プロセス、パッケージング　他

【開催日：平成19年 5月25日（金）】

圧力センサから始まり、加速度センサやジャイロなどが実用化されてきた。 この自動車・家電関係から、最近は情報・通信 関連でディスプレイやプリンタなど の周辺機器で主要な部分につかわれ、今後はワイヤレス機器などに展開されようとしている。

• 2-1.自動車・家電 関連 (圧力、加速度センサ・ジャイロ 他)
• 2-2.情報・通信 関連 (ディスプレイ、印刷、記録、通信 他)

【開催日：平成19年 6月 8日（金）】

カテーテルなどの医療器具やバイオ検査機器、半導体検査用のプローブカードなどの生産機器、また監視モニタなどにつかわれる赤外線イメージャや 環境ガス分析などの機器でも、MEMSは使われる。

MEMSで問題になるアクチュエータやエネルギ源、またMEMS産業化の課題などについて述べる。

• 3-1.医療・バイオ 関連 (カテーテル、検体検査 他)
• 3-2.製造検査・科学機器 関連(プローバ、熱型赤外線イメージャ 他)
• 3-3.マイクロアクチュエータとマイクロエネルギ源
• 3-4.MEMSの産業化

▼お申込はこちらからお願いします
http://www.mmjp.or.jp/tmc-seminar/s-syo/ac-009.html